靶材為什要測量密度？秒準靶材密度計的優勢在哪里？

靶材本身的致密(mi)度(du)，靶材的致密(mi)度(du)很(hen)高時，不易吸附，無空隙，背(bei)靶易脫落。

為了(le)減少靶(ba)(ba)材固體中的(de)(de)(de)氣孔，提(ti)高濺射薄膜(mo)的(de)(de)(de)性(xing)能，通常要求靶(ba)(ba)材具(ju)有(you)較高的(de)(de)(de)密(mi)(mi)度(du)。靶(ba)(ba)材的(de)(de)(de)密(mi)(mi)度(du)不僅(jin)影(ying)響(xiang)濺射速率，還影(ying)響(xiang)著薄膜(mo)的(de)(de)(de)電學和光學性(xing)能。靶(ba)(ba)材密(mi)(mi)度(du)越高，薄膜(mo)的(de)(de)(de)性(xing)能越好。此外(wai)，提(ti)高靶(ba)(ba)材的(de)(de)(de)密(mi)(mi)度(du)和強度(du)使(shi)靶(ba)(ba)材能更好地承受濺射過程中的(de)(de)(de)熱(re)應力。密(mi)(mi)度(du)也是靶(ba)(ba)材的(de)(de)(de)關鍵性(xing)能指標之一。

靶(ba)材在生產制造的過程中(zhong)需(xu)要(yao)對其密(mi)度進行測(ce)(ce)試，采(cai)用的方法是阿基米德原理(li)，儀器自動計(ji)算出靶(ba)材密(mi)度g/cm3。目前(qian)生產的測(ce)(ce)試采(cai)用人(ren)工對靶(ba)材進行測(ce)(ce)量，由于靶(ba)材重量大，操(cao)作不(bu)便，不(bu)利于手動計(ji)算測(ce)(ce)試密(mi)度。因此需(xu)要(yao)一(yi)種專用密(mi)度儀進行操(cao)作。因此解決這一(yi)問題就顯得十分必要(yao)。

如何測量靶材的密度？

陶瓷靶材密度測試儀MAY-AE10應用于各種靶材材料。按材質分類可分為金屬靶材(純金屬鋁、鈦、銅、鉭等)、合金靶材(鎳鉻合金、鎳鈷合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)。按應用領域分類靶材可分為半導體芯片靶材、平板顯示靶材、太陽能電池靶材、信息存儲靶材等等都可以測密度。
原(yuan)理：根據ASTM B311、B328；MPIF 42、57；JIS Z2505、Z2506、GB/T5163、ISO2738。可適用于(yu)采(cai)用阿基米德原(yuan)理浮力(li)法，準確直讀量測數值。

秒準靶材密度計經過市場10幾年的驗證以及不斷的研發升級，現已具備以下特點：
1、數顯直讀，無需人(ren)工計算，直接顯示密度和體積等參(can)數。

2、全彩7寸觸摸屏操作，自帶打印功能，可編輯帶公司名稱物料編碼的數據報告。
3、采用梅特勒原裝進口傳感器，測量精準、操作簡便、穩定耐用。
4、具(ju)有實際水溫(wen)補償功能，可(ke)適(shi)應測試(shi)環境變(bian)化。

5、可設定媒介液密度，使用水作介質，也可使用其它液體介質。
6、采用SUS304一體水槽，耐腐蝕(shi)耐摔，底部設計靜音萬向輪(lun)，便于(yu)移動。

7、含USB通信(xin)接(jie)口，方便與(yu)電腦連接(jie)。

8、內置靜音排水系統，方便換水。
功能描述：

1、直(zhi)接(jie)讀取靶(ba)材工件的密度和體(ti)積。

特別備注：秒準靶材密度計支持非標定制，已經為多家用戶實現自動化密度測試儀非標定制，搭配機械手/吊機，自動完成密度測試，自動輸出數據。
技術參數：